温度測定:ヒートラベルの専門会社。温度シールにおいて長年の経験があります。温度ラベル・温度シール・ヒートラベルのミクロン株式会社。ヒートラベル、テンププレート。
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テンププレート・ミニパーツP/N450

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テンププレートとは・・・・・・
水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けず、貼るだけで正確に温度を記録します。

ウエハー表面温度測定に適したミニラベルを新開発。

上フレーム
spacer  P/N450 テンププレート・ミニパーツP/N450 spacer
下フレーム
※上図をクリックすると拡大ウィンドウが開きます。
半導体用ミニパーツP/N450イメージ

◆プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー
◆裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)
◆従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮(従来の441シリーズの1/3)
 貼り付け精度向上
◆ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る

●P/N450
パーツナンバー
温度レンジ(℃)
450-043
  43-48-54-60℃
450-065
  65-71-76-82℃
450-087
 87-93-98-104℃
450-110
  110-115-
   121-126℃
450-132
  132-137-
   143-148℃
450-154
  154-160-
   165-171℃
450-176
  176-182-
   187-193℃
  ●インジケータの琥珀色が規定温度に達すると  黒色に変化。
●不可逆なので永久記録が出来ます。
●43℃から193℃まで約5℃刻み。
●精度 ±1%(100℃以下は±1℃)
※精度、反応速度は1気圧における融点利用です。
●水、蒸気、ガス、薬品などの影響を受けません。

 

使用上の注意

1. 貼付する面の水、グリス、ほこりその他を拭ってから貼付してください。
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2. 水、油、溶剤などの液体の中に長時間浸る状況や高い圧力の下では、示温素子が溶けるため正しく変色しません。表面に若干の液体がかぶっても影響はありませんが、長時間使用する際は、周囲を耐熱性接着剤などで完全にシールドしてください。
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3. 使用前は30℃以下の冷暗所で保管してください。(湿度50%前後)
50℃以下のレンジが含まれるラベルは、冷蔵庫内で保管してください。
購入後、2年以内に使用してください。
夏季は、低温レンジを含むラベルの輸送・保管にご注意ください。
輸送中、納品後の変色については、当社の責任外とします。
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4. 精度は1気圧における融点利用です。検定では、ホットプレート上にテンプ・プレートを貼り、毎度2℃を超えない温度上昇の元で色の変色を観察しています。加熱条件が異なると変色温度が変動する場合があります。
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5. 急激な温度上昇を与えると、フィルムの収縮で接着面との間に隙間ができて反応しないことがあります。
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6. 真空対応ラベルは、真空装置内での印刷インクが飛散、アウトガスの発生を最小限に抑える商品であって、真空内での温度精度を保証するものではありません。
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7. 減圧により、示温素子がインジケータ窓部に吸着し、黒変を確認できないことがあります。(曇りガラス現象)目視できない場合は、ラベルを分解して示温素子が溶けているか否かでご判断ください。
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8. 高圧下、高真空中、電磁誘導加熱、長時間加熱など経験が予想されるケースでは性能変化を起こすことがあります。特殊条件下の用途では、事前にご相談ください。
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9. 個別の真空度、装置への影響などのデータは当社にはありません。
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10. 本製品、および本製品を使用したことなどが原因で生じた、いかなる損害に対しても当社は一切の責任を負いません。


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ヒートラベル、テンププレート専門会社。温度シールにおいて長年の経験があります。
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